第184章 光刻机已经成功了！（2/2）

并用联合的事情，逼迫龙国站队，是当小弟慢慢还钱，还是立马还钱。

……

时间很快便来到了年末，第五局的科研人员培养正如火如荼，三轧钢研究所的计算机研究也终于迎来了突破性的进展。

十二月份的天气已经开始冷了起来，天空也下起了一场大雪，将这个四九城包裹在一片白茫茫之中。

所有人都躲在家中，生着炉子烤火，或者缝制着从厂里打出来的电热毯棉布。

没多少人在外面走动，街道上冷清清的。

不过比起外面的冷清，三轧钢研究所内却是一片火热，所有研究室小组的成员，此时都聚集在了试验车间内。

在这之前，白杨还待在自己的办公室内，准备查看香江那边的来信，却被突然闯入的霍助理给打断了。

“白所长，按照你的方案，光刻机已经成功了！”

“是否要进行第一次测试？”她满脸惊喜的说道。

“已经要开始测试了……”白杨闻言，也激动的站起身来，顺势就走出了办公室。

“走吧，硅基半导体计算机各个小组的人都在吧。”路途中，他开口询问道。

“都在等着了！”霍助理迅速跟上回答道。

“那就好！”

物镜部分在上个月就已经完成突破了，采用是的显微镜的物镜部分。

而这个月则是开始统合各个小组的研究，开始对整台光刻机进行研制。

虽然还是一比一，并且光学部分的光掩板贴在光刻胶上，生产过程成本损耗过高，但也代表着集成电路正式迈出了关键性的一步。

两人换上无尘服之后，迅速来到了车间内，便看到了计算机各个研究室的小组成员，全部围着一台设备在讨论着。

而在一旁，薄薄的晶圆也已经切割完成了，准备覆盖光刻胶，放入光刻机内了。

“白所长，你来了！”陈心如等人看到白杨，立即让开身子，打了个招呼。

“听说光刻机已经完成了，我这就来看看。”

“各种参数都调试完了吗？”白杨微微颔首回应了一下，转而看向面前有些简陋的光刻机问道。

孟国华的科研小组此时走了过来，将打磨、清洗、氧化完成的晶圆运送了过来。

“都已经调试好了，剩下的只需要将光刻胶均匀的涂抹到晶圆上，便可进行光爆刻蚀程序了。”

“那就开始吧。”白杨郑重的点了点头，说着后退了一步，将空间让给了他们。

孟国华小组将晶圆推入光刻机内，放在了光刻胶枪的下方。

随着设备启动，晶圆在工作台上高速旋转了起来，光刻胶也均匀的从枪口滴落，随着高速转动所产生的离心力！

透明的光刻胶均匀的分布在了晶圆表面。

紧接着，陈心如带着他的小组成员开始接手，操控定位台介入，将有着电路图的光掩板覆盖在了晶圆与光刻胶的上方。

为了保证光衍射分辨率，设备还是采用了封闭式，可用激光干涉测量仪设备开始工作，投射激光照着在了光掩板上。

投射出来的光线，形成了一道繁杂的电路图，伴随着光刻胶的光敏剂反应，在晶圆之上，完整的复刻出了电路图。